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(税込¥384,120)
【特徴】異なる測定範囲の測定子が接続可能:マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能。コンパクト:従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラスユーザビリティ向上:PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能ラインアップの充実:アナログ出力仕様(ST200-A)、シリアル通信仕様(ST200-R)に加え、EtherCAT仕様(ST200-E)を追加予定世界初の三極管型メタル電離真空計(特許申請中):真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現フィラメント寿命お知らせ機能:フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能広範囲の圧力測定:大気圧から高真空領域(1×10+5~1×10-5Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)正確な大気圧測定:チャンバーオープンのための大気圧確認が可能(オプションユニットSAU接続時)【仕様】測定範囲(Pa):1.0×10^-5~1.0×10^5モード:ST200-A+SWU10-Rコンビネーションモード入数:1個外寸法:ST200+測定子/69×63×120mm、ISG1/48×70×96mm、SWU10-R+測定子/Φ40×81mm、SAU+測定子/Φ30×67.5mm使用温度範囲:ST200-A(10~50℃)測定値出力:出力電圧 DC 0~10V LOG出力 0.75V/1桁測定精度:1.0×10^-4~3.0×10+0Pa:±10%(ST200-A単体モード)、1.0×10^-4~1.0×10+4Pa:±10% 1.0×10^4~1.0×10^5Pa:±20%(ST200-A+SWU10-Rコンビネーションモード)、1.0×10^-4~1.0×10^4Pa:±10% 1.0×10^4~3.0×10^5Pa:±3%F.S.(3.0×10^3Pa・基準温度25℃)(ST200-A+SWU10-R+SAUコンビネーションモード)電源電圧:DC20~28V(リップル、ノイズ1%以下)8W以下SWT-16(NW16)・SWT-25(NE25):電離真空計測定子ISG1:表示器SWU10-R:ピラニ真空計(0.5mケーブル付き)SWP-16(NW16):ピラニ測定子SAU(NW16):大気圧センサ(0.5mケーブル付き)ディスプレイケーブル:5m(表示器・本体間ケーブル)ACアダプター付属
3-6054-25 電離真空計 ST200-A(SWT-16+SWU10-R)&ISG1
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